?活性离子腐蚀

Reactive Ion Etch(活性离子腐蚀), 此释义来源于网络辞典。

?离子蚀刻

最具广泛使用的方法便是结合物理性蚀刻与化学反应性蚀刻，即所谓的活性离子蚀刻(RIE, Reactive Ion Etch)，此种蚀刻方式兼具非等向性及高选择比等双重优点，蚀刻的进行主要靠化学反应来 达成，以获得高选择比。