?平坦化

平坦化 （ Planarization ）：就字面上来解释， 平坦化 就是将表面原本凹凹凸凸的晶圆，加以处理使其平坦的方法。为什么需要 平坦化 ？

?平坦化制程

...半导体产业薄膜制程，在以前并未有平坦化技术所以在制程裡良率一直不 好，为了让产品良率以及提升产率平坦化制程(Planarization)是缺少不了的， 在许多制程中平坦化制程将分離出來自行成立一个部门，此部门就是专解决薄 膜表面问题。

?平面化

... 平面性测试 planarity testing 平面化 planarization 平面化算法 planarization algorithm ...

?平展化

... planar magnetron sputtering system 平面磁控管溅镀体系 planarization 平展化 plane defect 面缺陷 ...