?径向对称
为获得良好的厚度均匀度,晶圆在沉积过程中必须旋转,所以厚度分布会形成径向对称(radially symmetric),借着晶圆温度分布的改变,可稍稍调整径向厚度分布。
电子 径向对称滤波
圆对称波导
径向对称解
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