?释气率

... outgassing 放气 outgassing rate 释气率 outgoin laser beam 出射激光束 ...

?放气率

...通量（throughput） 气导（conductance） 阻抗（resistance） 抽真空时间（pump-down time） 放气率（outgassing rate） 漏气率（leak rate） 及单层附著时间（monolayer time） 抽气速率 表示在系统中某一断面或真空帮浦 单位时间抽气的量 抽...