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adj. 步调的;步伐的 | v. 踱步(pace的...
n. 一步;步速;步法 | vi. 踱步;缓慢而行...
?强化学气相沉积
摘要: 采用在等离子体增强化学气相沉积(PFCVD)系统中沉积a-Si:H和原位等离子体逐层氧化的方法制备a-Si:H/SO2多层膜.用快速热退火对a-Si:H/SiO2多层膜进行处理,制备nc—...
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