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?光阻旋镀机
...2）以提升预备溶液的动性以改善薄膜表面 大大学 机械工程学系 微系统实验室 10 薄膜之镀著 用光阻旋镀机（photoresist spinner）使用旋镀法在 基板上以阶段旋镀方式镀著前述所配好的预备溶 液。
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