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氧化物陷阱
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?氧化层陷阱
分布在距离Si02/SiC界面2nm以内的氧化层陷阱即近界面氧化层陷阱(oxide traps),它类似于界面陷阱电荷,也能够与衬底发生电交换【391,不过其电交换时间比界面陷阱电荷长很多,这种类型的陷阱又被称为慢陷阱、...
NO捕捉
薄氧化层
氧化层陷阱故障
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