[计]?物理故障
故障建模是指把物理故障（Physical Fault）模拟成逻辑故障（LogicFault），这样做的一个 好处就是故障分析与工艺无关，从而简化了分析过程。
?实体故障
... 实体设备表 physical equipment table，PET 实体故障 physical fault 实体容错 physical fault tolerance ...
计 实际容错
物理故障注入
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