?射测温仪
...量-晶圆局部温度之正确量测正确量测温度之困难度-热电偶温度量测须时间(response time)-光学式的辐射测温仪(optical pyrometers)不准确 高压氧化炉化学反应速率-温度高, 反应快-气体压力高、 浓度高、 反应快但高温造成-晶圆内之差排成长高压炉不锈钢外套防止...
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