光化学气相沉积
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[物化]?光化学气相沉积
... photochemical equilibrium 光化学平衡 photo chemical vapor deposition 光化学气相沉积 Photo-CVD 光化学气相沉积 ...
?法
PHCVD：光照射式化学气相沈积法(PHOTO Chemical Vapor Deposition, PHOTO CVD) 光照射式化学气相沈积法是属于较新的化学气相沈积方式，方法为利用紫 外线或激光照射反应物，使反应物活...
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