?图案密度

...大小 抛光垫弹性 抛光垫寿命 背垫弹性 修整(condition) 薄膜材料的参数 种类 厚度 硬度 化学性质 图案密度(pattern density) 化学机械抛光液(Slurry)是由磨粒、酸碱剂、 纯水及添加物所构成。

?提升配线密度

平坦化进而进行立体布线或者多层布线，提升配线密度(pattern density)，同时降低缺陷 密度(defect density)，提升制程良率。