?纳机电系统

纳机电系统(NEMS)是电子自由度和机械自由度之间具有强相互作用的纳米尺度的器件,它具有尺寸小、频率高、响应时间短、品质因素高、功耗低和灵敏度高...

?纳米机电系统

MEMS（微机电系统）和NEMS（纳米机电系统）是由薄膜和复合纳米材料。纳米压痕测试方法已被成功地用来测量在亚微米和纳米尺度材料的力学性能。

?纳米电子机械系统

因此我们为之研发了针对微电子机械系统(MEMS)和纳米电子机械系统(NEMS)的测试功能。我们的仪器用于以下领域的测试：

?纳机电系统(Nano Electro Mechanical System)

...含有缺陷，但它却保留了完整的机械性能，杨氏模量约为0.25TPa。这些数据结合相对廉价的薄层石墨及GO易于混合到高分子基体中的优点，使石墨烯掺杂成为增强材料机械性能的理想途径之一。另一方面，具有高张力的单层石墨烯可作为最终的薄层材料应用于纳机电系统（NEMS），如压力传感器和共振器等领域。将机械剥落的单层和多层石墨烯固定于SiO2基底的沟槽里来制备基于石墨烯的纳米电子机械系统。