?金属有机物气相外延

...蚤子阱,超晶格。己l省、J11二J金属有机物气相外延(MovPE)是生长化合物半导体材料既然量子阱和超晶格结构的重要技术之一。在技术先进的国家,MovPE技术已获得商业应用。

?相磊晶

及有机金属化学气相磊晶（MOVPE）均同时将反应气体导至基板表 面进行热分解），原子层磊晶则是轮流地将反应气体导至基板表面进

?系统

... moving picture experts 动画专家群 MOVPE 系统 mud gun 泥枪 ...

?相外延

...。VPE与CVD的区别在于后者既包括外延又包括非外延。在VPE中反应物在流动气流中输运至衬底，然后进行沉积。金属有机化合物气相外延(MOVPE)是VPE中一种较新的工艺。 说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。