?宏建模

这个过程，更多的称里，系统级采用硬件描述语言描述的梁、 质量平板、 为宏建模（Macromodeling） 。梳齿电容等各种多端口三维组件来描述 MEMS 器 关于宏建模的实现已经有很多方法，并已经成件的结构组成及行为模型。