?有机金属化学气相沉积
材料学院 MOCVD MOCVD的定义 的定义 有机金属化学气相沉积( Metal-Organic Chemical Vapor Deposition ,MOCVD) 是采用加热方式将化合物分解而进行外延 生长半导体化合物的方法。
?相沉积
?金属化学气相沉积
?化学气相沉积
至于金 属有机化学气相沉积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)的方法, 9,10 是利用有机金属化合物 作为前驱物,在前驱物中包含了欲沉积的化合物,利用 成长的条...
金属有机物化学气相沉积 ; 主要以有机金属气相磊晶成长法 ; 扩充有机金属化学气相磊晶
等离子体金属有机物化学汽相淀积
常压金属化学气相沉积法
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