?定位系统
纳米精度定位系统(Nanopositioning)是指系统的运动位移在几微米和几百微米的范围 内,其分辨率、定位精度和重复定位精度在纳米级的范围内的定位系统。
纳米定位工作台
纳米位移台系统
压电纳米定位台
nanopositioning:
nano- +? positioning
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