?纳米制备

...构及其激励器，微机械与纳机械装置，物理、化学和生物传感器，装置物理学及其特征化，设备建模与仿真，纳米制备(Nanofabrication)与新装置，微细加工，超导电子学。

?纳制备

...nicalandNanomechanicalDevices），物理、化学和生物传感器，安拆物理学及其特性化，设施建模取仿实，纳制备（Nanofabrication）取新安拆，微细加工（Microfabrication），超导电女学。