?金属卤化物
而金属前驱体有金属卤化物(metal halides),烷基金属(metal alkyls),烷氧基金属(metal alkoxidos)等,其中金属卤化物在氧化物薄膜中有广泛的应用,因为它们在加高温度...
碱金属卤化物
过渡金属卤化物
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