?金属刻蚀

... 各向异性各项同性及刻蚀（Anisotropic and isotropic etching） 金属刻蚀（Metal etching） 沟槽刻蚀（Trench etching） ...

?金属蚀刻

...这种解决方案可以应用在铜制程填孔能力(copper via filling)、铜制程平坦化(copper via planarization)、金属蚀刻(metal etching)以及黏着物质清除的制程(bonding material removal processes)。