?大块衬底

... bulk store 大量储存 bulk substrate 大块衬底 bulk 堆积舱 ...

?块状基板

根据调查，半绝缘(semi-insulating)块状基板(bulk substrate)的供应、砷化镓装置制造厂房也未受太大损害。

?体衬底

涂层的损伤越少，造成的能够扩展成体衬底(bulk substrate)失效的缺 陷越少。应对与表面的潜在性损伤接触，保护层可以吸收损伤，由此使衬底能够保持其 高强度。