?掩模层次
... mask layout ==> 掩模设计 mask level ==> 掩模层次 mask lifetime ==> 掩模寿命 ...
?掩模序号
... Mask 掩膜板,光刻板 Mask level 掩模序号 Mask set 掩模组 ...
灰阶光罩 ; 灰色标
灰阶光罩
灰阶掩模
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