?采用活性反应蒸发法
H.Biala 等 [8] 人以纯金属钒为原料,采用活性反应蒸发法(Activated reactive evaporation,ARE)在蓝宝石衬底上制备VO 2 薄膜,低、高温时电阻突变达4 个数量 级,电阻突变温度为 64℃;F.C...
活性反应蒸镀
活性反应离子镀
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