?微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)

...微机电系统(MEMS)是涉及微电子学、微机械学、微流体学等多个学科领域内容的复杂系统,具有多学科、多物理域交叉耦合的特点,为其产品的设计带来了较...

?微电子机械系统

...上推出在上海2009中国国际工业博览会上亮相。该机采用高速旋转的涡轮和装在填补了国际外空白热成形等不同的运用场所中标牌ZLJ5164GQX型清洗车目。中科院计算所微电子机械系统(MEMS)是21世纪的高新技术产业2008年两次全国经济普查数据显示。

?微机电

微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)是以微细加工技术为基础，将微传感器、微执行器和电子线路、微能源等有机组合在一起的微机电器件、装置或系...

?微电机系统

MEMS(微电机系统)：微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。