?微系统
开发高性能的微系统(MicroSystems)和纳系统(NanoSystems)是微米纳米技术的最终目标之一,它研究微米到纳米尺度的材料、器件、系统机理、制造、测控、集成或组装技术...
?微观系统
微观系统(Microsystems),是指个体亲身接触和参加并产生体验的,与之而紧密联系的环境。如家庭、学校、同辈群体等。
?系统
欧洲把微系统(Microsystems,MST)定义为一种 智能微系统,具有传感、信号处理和致动等功能,一般集成了两个或多个电、机、 光、化学、生物...
?欧洲则将微系统
欧洲则将微系统(Microsystems,MST)定义为一种智能化的微小系统,具有 传感、信号处理和/或致动功能,通常组合了两个或多个电、机、光、磁、...
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光子微系统
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