?显微机械加工
目前为止,其主要的制作工艺手段包括基于MEMs的工艺 和基于 显微机械加工 ( Micromachining )的工艺。 文献【26】提出了一种新颖的基于MEMs工艺的光纤法布里一珀罗压力传感器,它利 用砌巳Ms技术将微型结构直接制作在光纤...
?精密加工
... microlux微勒 micromachining精密加工 micromanipulator微型操纵器,微型机械手 ...
微加工 ; 加工技术 ; 体微加工
加工技术 ; 面微加工 ; 面型微加工技术
激光微型工
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