| 释义 |
1 ?装货港 ... LOAD PORT CODE 装货港代码 LOAD PORT 装货港 TRANSFER PORT CODE 中转港代码 ... 2 ?最后装货港 ... LOAD PORT CODE 最后装货港代码 LOAD PORT 最后装货港 ARRIVED TIME 抵港时间 ... 3 ?起运港 Load Port（起运港）：SHENZHEN 4 ?自动化载入埠 4自动化物料搬运系统描述(2/2) 仓储系统运作仓储系统在面对interbay及intrabay系统轨道时,须设置自动化载入埠(load port),以利晶舟暂存及转运作业的执行。
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Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system. 减小容量的载运器，输送工具，装载端口和缓冲器系统。 - 2
The mechanical arm is movably arranged on the track and is used for conveying the chip carrier between the chip load port and the overhead conveying system. 以及一机械手臂，可移动式设置于该轨道，用以在该高架传输系统以及该芯片载入埠之间传送该芯片承载装置。 - 3
The invention relates to a system for semiconductor manufacture, comprising at least a processing tool, a buffer, an input load port, an output load port and a track diameter module. 本发明是有关于一种用于半导体制造的系统，至少包含一制程工具，一缓冲器，一输入负载埠，一输出负载埠，与一轨径模组。
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