?缓冲层
... 功不可没 ? 为了改善 GaN 与蓝宝石基板之间晶格不匹配的问题,中村以 GaN 为材料在蓝宝石基板上制作缓冲层(Buffer Layer),并为此改造出双气流(Two-Flow)有机金属化学气相沉积(MOCVD)设备,大幅提升磊晶品质,也为实现高亮度蓝色 LED 奠定了基础。
缓冲层
阳极缓冲层
应力缓冲层
cushion coat
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