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...vated);若与此同时，施与RF power之电磁震荡，用以加速金属与气体及电子间的碰撞，则便有大量的溅镀金属可被「离子化(Ionized)，离子化的溅镀金属，会因为晶圆台座上因电浆而自然形成之自生负偏压(self-bias)，而被直线加速往晶圆表面前进。