?离子增强腐蚀
... 耐活性离子腐蚀性 reactive ion etch resistance 磁控管离子腐蚀装置 magnetron ion etcher 离子增强腐蚀 ion enhanced etching ...
离子增强腐蚀
发明名称
磁场强化活性离子蚀刻
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