[物]?离子轰击

轰击能量对离子束辅助磁控溅射沉积Cr-N薄膜 关键字: 离子轰击； 晶粒度； 硬度； 断裂韧性[gap=1949]Key words: ion bombardment； grain size； hardness； fracture toughness

?离子虫击

... ion beam 离子束 ion bombardment 离子虫击 ion chamber 离子室 ...

?离子撞击

这三种蚀刻范例有赖于蚀刻制程空间中不同领域的最佳化，特别是蚀刻化学、 离子撞击 ( ion bombardment )与温度的提高及控制。

?离子轰击现象

...气体分子进行CVD反应之设备  设备特性  可在更低温度下进行反应  薄膜常含有氢原子  存在离子轰击现象(Ion Bombardment)， 可借此调整薄膜的内应力 台大机械/半导体制程设备概 论/气相沉积设备 20 CVD反应器– PECVD  平行板冷壁式PECVD  Low dep...