| 释义 |
1 [电子]?离子铣 ... 离子束蒸发 ion beam evaporation 离子铣 ion beam milling 离子显微镜 ion microscope ... 2 ?离子束研磨 ... Ion 离子 Ion Beam Milling 离子束研磨 Ion Implantation 离子注入 ... 3 ?运用离子铣工艺 ...于玻璃基底和聚酰亚胺基底,运用剥离工艺(lift off)制作了微流量传感器的电极;同时又基于硅基底,运用离子铣工艺(Ion Beam Milling)制作了微流量传感器的电极,对比了二种加工方法的优缺点;然后基于二种方法制作了测热式微流量传感器,探讨了微流量传感器与微流道集...
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In ion beam milling technique, ordinarily, the argon ion is used as the ion source. - 2
Last, a technique known as anisotropic ion beam milling (IBM) is used to etch through the mask to make an array of holes, creating the nanoporous metal. 最后，采用各项异性的离子束(IBM)加工技术可以通过掩膜来蚀刻孔阵，以制成纳米多孔金属材料。 - 3
DOE's fabrication techniques mainly include laser beam or electron beam writing, RIE, ion milling and thin film deposition. 衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
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