?离子辅助沉积
镀膜时,有一束低能量的离子流对准沉积膜层,所以将这种方法称为离子辅助沉积(Ion-Assisted Deposition, IAD)。由于这种动力转移,使得膜层表面沉积的分子获得额外的动能,从而在不断生长的膜层结构中填充每个空隙。
离子助镀 ; 镀膜 ; 助镀膜
离子辅助镀膜工艺
离子辅助沉积
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