?内部去疵法
会产生空穴缺陷问题的是称为“内部去疵法(Intrinsic Gettering)”的晶圆制造工艺。所谓内部去疵法就是将晶圆中添加的氧原子聚集到晶圆内部的特定位置,将金属原子捕捉到该位置来防止污染。
?内吸杂
内吸杂
电子 本征吸杂工艺
本征吸除
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