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vi. 迫近;即将发生
vt. 意味;暗示;隐含
?金属的物理气相沉积
电离金属的物理气相沉积(IMPVD)是一个过程,在该过程中溅射的金属原子从磁控管靶是通过二次等离子体离子化,加速进入该基板上,并存放于中等各向异性通量。
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