?激光退火

超浅结的激光退火（Laser annealing）是被谈论了约十多年的工艺技术之一，但是却迟迟未真正到达可量产制造的层面。

?雷射退火

...韩元，AP System相关人员表示，2010年至今LCD、半导体、AMOLED等设备订单总额已超过1,000亿韩元，其中雷射退火(Laser Annealing)设备等AMOLED设备占40%以上，成为主要输出设备。

?雷射回火

...限，当来到65与45奈米技术世代突破性的离子布值技术与回火制程是绝对必要的，离子共同植入(codoping)、雷射回火(Laser Annealing)与高角度离子植入技术等已广为研究与讨论，并被视为最有机会达到新世代超浅层结合区形成技术的需求。