[真空]?吸气泵

...利略温度计 真空泵大致分为两大类，一类是“储气式泵”(Entrap- ment Pump)，包括吸附泵(Adsorption Pump)、吸气泵(Getter Pump) 、低温泵( Cryopump) ……

?吸气剂泵

... 被抽介质或是在温度非常低的表面上(低于120 K)捕集，或使用大的有效面积的多孔媒介物在低温条件下来吸附被抽介质的真空泵。例如：低温泵和吸附泵。本文中使用的术语“低温”，其温度要低于120 K。 吸气剂泵 getter pump 分子泵 molecular pump ...

?离子溅射泵

离子溅射泵(getter pump), 此释义来源于网络辞典。

?聚杂帮浦

另一种捕捉式帮浦为离子帮浦 (ion pump)，又名“溅式离子帮浦”(sputter ion pump) 或“ 聚杂帮浦 ”( getter pump )，如图21。离子帮浦的作用原理和离子植入机或溅镀机中的离子化部位颇为类似，.