[物]?电子回旋共振
关键词 : 电子回旋共振 ;化学气相沉积 ; 氮化铝薄膜 [gap=6376]Key words : electron cyclotron resonance ( ECR) ; chemical vapor deposition ; AlN film
?电子回旋加速器共振
... sputtering system 电子耦合谐振溅镀系统 electron cyclotron resonance 电子回旋加速器共振 electron cyclotron resonance etching system 电子回旋加速器共振蚀刻系统 ...
?共振法
...:热流法(Thermal flow)、旋涂式玻璃法(Spin on Glass)、回蚀法(Etch Back)、电子环绕式共振法(Electron Cyclotron Resonance)。
?旋共振
... 介绍了等离子的基本概念,常规微波等离子体系统的组成、功能;从电磁学角度分析了电子回旋共振(Electron cyclotron resonance,ECR)的原理,对电子回旋共振在微波等离子体系统中的应用进行了说明;讨论了ECR微波等离子体系统的组成结构、...
电子回旋共振加热
电子回旋共振
电子回旋共振推力器
英汉双解词典包含3185865条英汉词条,基本涵盖了全部常用单词的翻译及用法,是英语学习的有利工具。