?特征尺寸

8 1.2-1.5 1.2-1.5 0.9-1.2 0.6-0.9 0.5-0.6 最大晶圆直径 200mm 300mm 300mm 300mm 300mm 450mm 450mm 特征尺寸(Feature size)：通常是指集成电路中半导体器件的最小尺度，如MOS晶 体管的栅极长度。通常用特征尺寸来衡量集成电路的制造工艺水平。

?指单个图形的最小物理尺寸

... fab：常指半导体生产的制造工厂。 feature size：特征尺寸，指单个图形的最小物理尺寸。 field-effect transistor（FET）：场效应管。包含源、漏、栅、衬四端，由源经栅到漏的多子流驱动而工作，多子流由栅下的横向电场控制。 ...

?面部特征值

1.4 面部特征值(feature size) 许多研究者通过测量或操纵面部特征值的大小来研究面部特征值与面孔吸引力的关系。