?相沉积法

赵和平：火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟 2湍流扩散火焰的数值模拟 火焰气相沉积法（FCVD）是在湍流扩散燃烧的高温火焰中由先驱物和氧化剂反应生 成纳米颗粒的方法；由于其具有工艺简单、产品纯度高、球形度高、粒径可控的...

?强制气流热梯度法

...离子体辅助CVD法（PACVD）、脉冲法、激光CVD法 （LCVD）、液气相CVD法、自热式CVD法、快速定向扩散法、强制气流热梯度法（FCVD） 等。他们的共同优点就是，可以任意控制薄膜的组成，而且可以在低于薄膜组成物质的 熔点温度下制备薄膜。

?相沉积

本文以氨气为氮源、TiCl_4为TiO_2前驱体,采用火焰化学气相沉积(FCVD)法,在丙烷/空气湍流火焰中氧化制备氮掺杂纳米二氧化钛(TiO_2)颗粒,由此制得产物的突出特性是工业化程度高、反应速度快、能耗低、...