?流化床反应器(Fluidized Bed Reactor)
...带颗粒,与允许颗粒向下漂移的预反应流化气体相比,不可避免的是一些反应气体将还在垂直分隔器102之上或之下流动,从而进入预反应加热区,在这里其容易形成硅灰尘,并且硅在加热的壁上沉积。因此,需要一种多晶硅FBR反应器,其能够产生较少的硅灰尘,使硅在壁、加热器和区域分配器上的沉积最小化,并且生产具有降低的氢含量的硅产物,使得不需要单独的脱氢步骤。技术实现思路本专利技术提供了一种具有反向流动的流化床反应器(FBR),其能够使得硅灰尘的产生最小化,使得硅在壁、加热器、区域分配器(zonedividers)上的沉积最小化,并且生产具有降低的氢含量的硅...