?薄膜生长
... film glue || 薄膜黏结剂，层胶 film growth || 薄膜生长 film healing || 薄膜修复，膜修复 ...
?薄膜成长
...晶粒成长(Grain Growth)；沊晶粒聚集 (Coal escence)； 沝 缝 道 填 补 (Fi l l i ng of Channels)；沀 薄膜成长 ( Film Growth )的步骤 形成与靶材成分相似的薄膜。由此沉积机 制可知靶材成份对于生成之薄膜性质具有 决定性之影响。
?沉积膜成长
5、沉积膜成长(Film Growth)：完成缝道塡补后，薄膜继续增厚以至达到所 需的厚度。 9 个别的晶粒大小和反应物种类的表面移动率及密度有关系。
薄膜生长
营养膜生长系统
限边喂膜
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