?薄膜沉积
...不管是简单的线条还是需要上百甚至上千步工艺的集成电路,这些工艺概括起来大致有以下四个方面:1.薄膜沉积(film deposition):为了制备复杂结构,首先需要将复杂结构所需要的材料沉积在样品上,根据要求不同,沉积的薄膜作用也不同,如沉积的薄膜作为晶体...
光学镀膜 ; 镀膜
化学真空薄膜沉积
薄膜沉积速率 ; 镀层沉积速率 ; 沉积速度
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