?照射场
... exposure dose rate 照射剂量率 exposure field 照射场 exposure indicator 照射量指示器 ...
?曝晒场
... 曝晒场 exposure field 日光曝晒 solar exposure 曝晒漂白 sunbleaching ...
?曝光区域
90年代末～至今，用于≤0.18μm工艺。采用6英寸的掩膜板按照4：1的比例曝光，曝光区域（Exposure Field）26×33mm。优点：增大了每次曝光的视场；提供硅片表面不平整的补偿；提高整个硅片的尺寸均匀性。
曝光场分布
整片曝光
英汉双解词典包含3185865条英汉词条，基本涵盖了全部常用单词的翻译及用法，是英语学习的有利工具。