释义 |
- n.(晶体)取向附生,外延附生(epitaxy 的复数)
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机械工程 外延 In the work,the physical properties of ZnO and various growth techniques of ZnO thin film,such as Pulsed Laser Deposition,Magnetron Sputtering,Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,Sol-Gel,Spray Pyrolysis,Molecular Beam Epitaxy,Atomic Layer Epitaxy,are introduced in detail. 给出了ZnO薄膜的主要物理性能,并对制备方法作了比较详尽的介绍,包括激光脉冲沉积法、磁控溅射法、金属有机物化学气相沉积法、溶胶凝胶法、喷雾热解法、分子束外延法、原子层外延生长法。 晶术 晶膜术
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