?边缘限定硅膜生长工艺
... edge, timing 定时边缘 edge-defined film-fed growth (EFG) 边缘限定硅膜生长工艺 edge-emitting chip 边缘发射芯片 ...
?定边膜喂法
...- 中国产业调研网 s method)原理示意 柴氏拉晶法(Czochralski method)原理示意 定边膜喂法(Edge-defined Film-fed Growth, EFG)原理示意 热交换法(Heat Exchanger Method,HEM)原理示意 蓝宝石..
?导模法
...造方法目前主要有泡生法(KY,Kyropolus,凯式法)、提拉法(CZ、Czochralsk,柴氏法),导模法(Edge-defined Film-fed Growth),热交换法(HEM,Heat Exchanger Method)等,其中LGS改良法是有泡生法延伸而成,热交换萃取法(CHES)是有热交换法演变而成。
和导模法
导模提拉法
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